无锡隔振平台AIS 主动隔振系统AIS™

主动隔振系统AIS的优势：
紧凑的架构；
六个自由度上的主动隔振；
高度短，重量轻；
改善显微镜性能和图像质量；
轻松集成到工作站环境；
*后续调整；
解耦的架构可隔离来自地板的振动和工具产生的振动。
主动隔振系统AIS的设计：
气动水平振动隔离装置 HABTM结构为筒形**和底外壳。被放置在两个外壳之间的环形空间中的空气管能够产生水平力，以抵御两个外壳之间产生的运动。
主动隔振系统AIS的水平力或者固有频率可以通过改变这些空气管的空气压力进行调整 。设计的空气轴承可以承受垂直承载力， 并在**部和底部外壳之间提供供无摩擦的水平平滑运动。

主动隔振系统AIS的设计：
由一个PLC、CAN总线、16位控制器、高速电控气动伺服阀门和空气弹簧以及水平空气弹簧组成。由一系列规格尺寸可以提供垂直和水平空气弹簧。每个空气弹簧或者一组空气弹簧使用一个16位控制器和一个高速电控气动伺服阀门。AIS可以至低3组到6组进行运行。16位控制器可以直接安装到空气弹簧或者安装到机器上，安装方向与隔振装置运动方向一致。16位控制器内有一个微处理器、一个位置传感器，一个加速度传感器以及一个空气压力传感器。传感器的信号以4kHz速率进行采样。由于每个16位控制器有一个带开发的运算法则微处理器并带有的高动态气动伺服阀门。所以，相应的结果是实时控制非常有效，不需要给进信号。

主动隔振系统AIS的特点：
1、主动电控气动隔振提供多个自由度的控制；
2、优良的隔振性能，无共振时产生的任何增强现象；
3、垂直和水平两个平面都有非常出色的水平精度；
4、机器内的部件质量发生加速和减振移动后偏差和沉降时间短。沉降时间越短，即等于机器产能越大；
5、有效的实时控制；
6、每个自由度由PLC，CAN总线，一个控制器，一个高速电控气动伺服阀进行控制；
7、每个控制器由一个微处理器，位置、空气压力和加速度集成高分辨率传感器组成；
8、操作使用方便，用于设定和优化AIS并提供系统诊断的智能化软件；
9、通过使用数字式I/O可以简单的选择两种不同的操作模式；
10、不需要从机器的控制器要求给进信号；
11、无由于电磁起动器/电动机而生成的干扰热量，磁性变化或者高电力消耗现象。

主动隔振系统AIS的16位控制器通过CAN总线连接到PLC。PLC可以通过一个标准的RS-232接口到PC机，用于初始设定和诊断。PLC的主要功能是管理和16位控制器。并且，PLC还具有信号输入和传输功能，例如：准备、运动完成、位置、压力和电力检查、扫描模式到加载模式的切换、紧急停止等。
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