主动空簧隔振系统

EPPC电子气动控制系统

系统概述

主动隔振系统（EPPC）由以下几部分组成： 控制箱（PLC）, 气路总成，数据线CAN-Bus, 14位模拟数字控制器, 电控气动水平控制阀和空簧（垂直和水平方向）。

为了适用于不同的情况（承载，布局要求）,每套主动隔振系统可以选用不同型号的空簧和集成水平伺服阀进行组合 。每组空簧都通过一个14为模拟数字转换器和一个集成水平伺服阀进行单独控制。每套主动隔振系统 （EPPC）由较少3组（三自由度）较多6组空簧（六自由度）组成。所有电控气动传感器通过线（CAN-BUS） 与控制箱（ PLC）相连。

每个电控气动水平控制阀都直接安装在空簧上并且直接控制空簧的状态。电控气动水平控制阀内含有：一个14位的微处理芯片，一个位移传感器（分辨率0.76微米），一个气压传感器（分辨率0.36mbar）。

 控制箱（PLC)的主要功能则是管理和监控所有的电控气动传感器。另外，控制箱（PLC)还提供对外通信的各种接口和控制模式的切换以及工作模式的切换，急停等按键或旋钮并配有工作状态指示灯。通过控制箱（PLC)上的操作面板，用户可以轻松的实现扫描模式好承载模式之间的转换，解决了用户在工况和上下件两种情况下对系统截然不同的两种刚度要求（主动隔振系统的扫描和承载模式本质上是两种系统刚度之间的转换：扫描模式代表着低刚度，在这种模式下整个系统变得非常“柔软”且敏感，可以提供非常高的隔振效率，适合高精度的测量或测试设备运行时使用；承载模式代表着高刚度，这种模式下整个系统变得非常“坚硬”，可提供非常高的系统稳定性，适合精密设备在上下较重的工件或测试件时使用。

应用范围

EPPC为振动敏感设备提供较佳的隔振效果，动态控制适用于高精度和需要较短调节时间的设备，SEAC控制器内部的14为模拟数字转换器产生的噪声几乎可以忽略。

EPPC以其优异的性能可以应用在高精度设备、振动敏感机器、高动态测量、试验和生产机器、显微镜和半导体工业机械设备等领域。

系统特性

1、半主动式电子气动位置控制，控制多达六度的自由度。

2、采用PLC、CAN总线可以对每一个自由度伺服阀和位置传感器进行控制。

3、较优的水平精度可以达到±8μm。

4、阻尼可以调节。

5、在负载变化时，偏差较小，沉降时间短。

6、提供系统配置和诊断的智能化web浏览器（WebVisu）。

7、**避免电磁启动器或者电动机产生的干扰热量，以及磁性变化或者电力消耗现象。

8、不会因为气压在气管内流失而影响控制。

9、使用高分辨率信号处理和伺服阀控制噪音。